picture_5

Дополнительные услуги

В процессе эксплуатации в производстве ИС на фотошаблонах могут образоваться привнесенные дефекты, например: повреждение маскирующего покрытия, нарушение целостности пленки пелликла, загрязнения и т.п., что делает фотошаблон непригодным для использования.

В этом случае, Центр предлагает ряд дополнительных услуг с фотошаблонами, которые предоставляет Заказчик, позволяющих избежать дополнительных затрат на изготовление нового комплекта, а также минимизировать временные потери при производстве ИС.

Список дополнительных услуг:

  • Автоматизированный контроль соответствия топологического рисунка фотошаблона проектным данным и поиск дефектов маскирующего покрытия;
  • Устранение дефектов маскирующего покрытия фотошаблона (проколы, вырывы, остатки хрома);
  • Измерение критических размеров элементов топологического рисунка фотошаблона;
  • Отмывку фотошаблона и монтаж пелликла;
  • Аттестация координатной системы генераторов изображения.

Если у вас возникли вопросы по вышеуказанной информации — свяжитесь с нами и наши специалисты помогут вам их решить.

Изготовление бинарных фотошаблонов уровня до 180 нм
Изготовление бинарных фотошаблонов уровня до 180 нм
Современная инновационная инфраструктура
Современная инновационная инфраструктура



Наши партнеры
MIET Vistec КБТЭМ-ОМО

ЦКППИФ
© 2008-2015  
e-mail Контакты
+7 (499) 720-69-67