109

Продукция

Центр предлагает изготовление фотошаблонов для проведения литографических процессов методами:

  1. Контактной фотолитографии, масштаб изображения 1:1;
  2. Проекционной фотолитографии, масштаб изображения 10:1, 5:1, 4:1.

Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щелочного стекла или из синтетического кварца, с хромовым маскирующим покрытием.

Типоразмеры изготавливаемых фотошаблонов: 127x127x2,24 мм (5009), 152х152х6,35 мм (6025), 177,4х177,4х3,1 мм (7012).

На кварцевые фотошаблоны 152х152х6,35 мм возможна установка пелликлов.

Основные технические характеристики изготавливаемых фотошаблонов:

Минимальный размер на фотошаблоне (мкм) Тип фотошаблона Спецификация
Допуск на размер (±мкм) Совмещение
(мкм)
Дефекты
(мкм)
0,6-0,9 Бинарный
≥0,08
≥0,15
≥0,25
1-2 Бинарный
≥0,1
≥0,15
≥0,25
2,5-5 Бинарный
≥0,1
≥0,15
≥0,5
>5 Бинарный
≥0,1
≥0,15
≥0,5
Центр расположен на территории особой экономической зоны Зеленоградского АО г.Москвы
Центр расположен на территории особой экономической зоны Зеленоградского АО г.Москвы
Изготовление в соответствии с международными стандартами
Изготовление в соответствии с международными стандартами



Наши партнеры
Vistec КБТЭМ-ОМО MIET

ЦКППИФ
© 2008-2015  
e-mail Контакты
+7 (499) 720-69-67