Дополнительные услуги

В процессе эксплуатации в производстве ИС на фотошаблонах могут образоваться привнесенные дефекты, например: повреждение маскирующего покрытия, нарушение целостности пленки пелликла, загрязнения и т.п., что делает фотошаблон непригодным для использования.

В этом случае, Центр предлагает ряд дополнительных услуг с фотошаблонами, которые предоставляет Заказчик, позволяющих избежать дополнительных затрат на изготовление нового комплекта, а также минимизировать временные потери при производстве ИС.

Список дополнительных услуг:

• Автоматизированный контроль соответствия топологического рисунка фотошаблона проектным данным и поиск дефектов маскирующего покрытия;
• Устранение дефектов маскирующего покрытия фотошаблона (проколы, вырывы, остатки хрома);
• Измерение критических размеров элементов топологического рисунка фотошаблона;
• Отмывку фотошаблона и монтаж пелликла;
• Аттестация координатной системы генераторов изображения.

Если у вас возникли вопросы по вышеуказанной информации — свяжитесь с нами и наши специалисты помогут вам их решить.